更新时间:2026-03-24
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原子的概念至少可以追溯到一千年前的德莫克利特时代,但在漫长的岁月中,原子还只是假设而并非可观测到的客体. 人的眼睛不能直接观察到比10-4m更小的物体或物质的结构细节,光学显微镜使人类的视觉得以延伸,人们可以观察到像细菌、细胞那样小的物体,但由于光波的衍射效应,使得光学显微镜的分辨率只能达到10-7m
电子显微镜的发明开创了物质微观结构研究的新纪元,扫描电子显微镜(SEM)的分辨率为10-9m,而高分辨透射电子显微镜(HTEM)和扫描透射电子显微镜STEM)可以达到原子级的分辨率——0.1nm,但主要用于薄层样品的体相和界面研究,且要求特殊的样品制备技术和真空条件.
场离子显微镜(FIM)是一种能直接观察表面原子的研究装置,但只能探测半径小于 100 nm的针尖上的原子结构和二维几何性质,且样品制备复杂,可用来作为样品的材料也十分有限. X射线衍射和低能电子衍射等原子级分辨仪器,不能给出样品实空间的信息,且只限于对晶体或周期结构的样品进行研究.
具有原子级高分辨率,STM 在平行于样品表面方向上的分辨率分别可达 0.1nm 和 0.01 nm,即可以分辨出单个原子.
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