yy.vip易游-扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜-课件（PPT·精·选）ppt

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　　8-1扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜及其应用制作人: 8-2扫描电子显微镜?扫描电子显微镜( Scanning Electron Microscope ,简称 SEM )是继透射电镜( TEM )之后发展起来的一种电子显微镜?扫描电子显微镜的成像原理和光学显微镜或透射电子显微镜不同,它是以电子束作为照明源,把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描方式照射到试样上,产生各种与试样性质有关的信息,然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像。 8-3 ?在最近 20多年的时间内,扫描电子显微镜发展迅速,又综合了 X射线分光谱仪、电子探针以及其它许多技术而发展成为分析型的扫描电子显微镜,仪器结构不断改进,分析精度不断提高,应用功能不断扩大,越来越成为众多研究领域不可缺少的工具,目前已广泛应用于冶金矿产、生物医学、材料科学、物理和化学等领域。 8-4 SEM ? 8-5 SEM 8-6 SEM 8-7 SEM 的主要特点?⑴仪器分辨本领较高。二次电子像分辨本领可达 ( 场发射),( 钨灯丝); ?⑵仪器放大倍数变化范围大(从几倍到几十万倍), 且连续可调; ?⑶图像景深大,富有立体感。可直接观察起伏较大的粗糙表面(如金属和陶瓷的断口等); ?⑷试样制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或不导电的试样不加处理或稍加处理,就可直接放到 SEM 中进行观察。一般来说,比透射电子显微镜(TEM )的制样简单,且可使图像更近于试样的线特点?⑷可做综合分析。?SEM 装上波长色散 X射线谱仪( WDX )(简称波谱仪) 或能量色散 X射线谱仪( EDX )(简称能谱仪)后, 在观察扫描形貌图像的同时,可对试样微区进行元素分析。?装上半导体样品座附件,可以直接观察晶体管或集成电路的 p-n 结及器件失效部位的情况。?装上不同类型的试样台和检测器可以直接观察处于不同环境(加热、冷却、拉伸等)中的试样显微结构形态的动态变化过程(动态观察)。 8-9 扫描电子显微镜的工作原理一. 扫描电镜的工作原理扫描电镜的工作原理与闭路电视系统相似。 8- 10电子枪

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