YYVIP易游FEI公司取得多束扫描电子显微镜下一阶像散与畸变校正方法专利

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　　国家知识产权局信息显示，FEI 公司取得一项名为“在多束扫描电子显微镜下校正一阶像散和一阶畸变的方法”的专利，授权公告号CN115497794B，申请日期为2022年3月。

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