yy.vip易游-上海声动微科技申请谐振式气体传感器及其制作方法专利检测灵敏度高

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　　国家知识产权局信息显示，上海声动微科技有限公司申请一项名为“谐振式气体传感器及其制作方法”的专利，公开号CN121917459A，申请日期为2024年10月。

　　专利摘要显示，本发明提供一种谐振式气体传感器及其制作方法。所述谐振式气体传感器包括：检测光源，用于产生能够被待测气体吸收的检测光；设置在检测光的光路上的检测腔体；所述检测腔体相对于检测光源一侧的腔壁采用相对于检测光透明的材料，并通过通孔与检测环境连通，以获得检测环境中的待测目标气体，所述检测腔体内设置一能够随环境声压改变而改变谐振状态的压电谐振器。本发明采用了两个衬底分别制作不同的结构，并通过键合组装。关键结构的工艺彼此独立，不会在制作不同结构的时候彼此造成影响，工艺稳定性高。传感器结构采用光声信号的方式，检测灵敏度高，响应速度快，检测范围大。而且检测腔并不包含任何对检测气体产生吸收的材料，因此浓度变化时可以及时响应，不会因为气体残留产生信号滞后的情况。

　　天眼查资料显示，上海声动微科技有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析，上海声动微科技有限公司财产线条。

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